| Nombre del producto: | Sistema de medida del interferómetro del laser SJ6000 | Gama de medición linear: | los 0~80m |
|---|---|---|---|
| Resolución: | 1nm | Exactitud de la frecuencia del laser: | 0.05ppm |
| Temperatura de funcionamiento:: | ℃ (de 0-40) | Tarifa dinámica de la captura:: | 50 kHz |
| Resaltar: | Solo interferómetro del laser de la frecuencia,aparatos de medición 0.05ppm,aparatos de medición de la resolución 1nm |
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El interferómetro láser es reconocido como un método de medición de alta precisión y alta sensibilidad que utiliza la longitud de onda de la luz como criterio, ampliamente utilizado en los dominios de fabricación de gama alta.El sistema de interferómetro láser SJ6000 incorpora un generador láser de helio-neón de alta frecuencia de un proveedor estadounidense, módulos de compensación ambiental de alta precisión, procesamiento avanzado de señales de interferencia láser y un sistema de control por ordenador de alto rendimiento.
Utilizando la tecnología de estabilización de frecuencia térmica del modo longitudinal dual del láser y el diseño de la trayectoria óptica de interferencia de parámetros geométricos, el SJ6000 ofrece una estabilidad a largo plazo, alta precisión (0.El sistema de medición de la velocidad del láser (05 ppm) es muy rápido (aproximadamente 6 minutos) y tiene un potente rendimiento anti-interferencia.Perpendicularidad, y analizar las características dinámicas.
| Parámetro | Especificación |
|---|---|
| Método de medición | Frecuencia única |
| Precisión de la frecuencia del láser | 0.05 ppm |
| Tasa de captura dinámica | 50 kHz |
| Tiempo de calentamiento | Aproximadamente 6 minutos |
| Temperatura de funcionamiento | (0-40) °C |
| Condiciones ambientales | Temperatura: (0-40) °C, Humedad: 0-95% |
| Temperatura de almacenamiento | -20 °C a 70 °C |
| Tipo de sensor | Especificación |
|---|---|
| Sensor de temperatura atmosférica | ±0,1°C (0-40)°C, resolución: 0,01°C |
| Sensor de temperatura del material | ±0,1°C (0-40)°C, resolución: 0,01°C |
| Sensor de humedad atmosférica | ± 5% (0-95%) |
| Sensor de presión atmosférica | Las condiciones de ensayo de los vehículos de las categorías M1 y M2 |
| Parámetro | Especificación |
|---|---|
| Rango de medición | (0 a 80) m |
| Precisión de medición | 0.5 ppm (0-40) °C |
| Resolución de medición | 1 nm |
| Velocidad máxima de medición | 4m/s |
| Parámetro | Especificación |
|---|---|
| Rango axial | (0-15) m |
| Rango de medición | ± 10° |
| Precisión | ±(0,02%R+0,1+0,24M) ′′ (R indica el valor, unidad: ′′; M es la longitud medida en m) |
| Resolución de medición | 0.1′′ |
| Parámetro | Especificación |
|---|---|
| Rango axial | (0-15) m |
| Rango de medición de la planitud | ± 1,5 mm |
| Precisión | ±(0,2%R+0,02M2) μm (R indica el valor en μm; M es la longitud medida en m) |
| Tamaño del sustrato | 180 mm ajustable, 360 mm ajustable |
| Resolución de medición | 0.1 μm |
| Tipo de producto | Rango del eje | Rango de medición | Precisión | Resolución |
|---|---|---|---|---|
| Dirección corta | (0,1-4) m | ± 3,0 mm | ± ((0,5+0,25%R+0,15M2) μm | 0.01 μm |
| Larga rectitud | (1-20 m) | ± 3,0 mm | ± 5,0 + 2,5%R + 0,015M2) μm | 0.01 μm |
| Tipo de producto | Rango del eje | Rango de medición | Precisión | Resolución |
|---|---|---|---|---|
| Dirección corta | (0,1-3) m | ± 3,0 mm | ± 2,5+0,25%R+0,8M) μm/m | 0.01 μm |
| Larga rectitud | (1 a 15) m | ± 3,0 mm | ± 2,5 + 2,5%R + 0,08M) μm/m | 0.01 μm |