| Nombre del producto: | Sistema de medida del interferómetro del laser SJ6000 | Gama de medición linear: | los 0~80m |
|---|---|---|---|
| Resolución: | 1nm | Exactitud de la frecuencia del laser: | 0.05ppm |
| Temperatura de funcionamiento:: | ℃ (de 0-40) | Tarifa dinámica de la captura:: | 50 kHz |
| Resaltar: | sistema de medida del interferómetro del laser 0.05ppm,sistema de medida del interferómetro del laser 1nm,interferómetro de medición de la dislocación 1nm |
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La interferometría láser es reconocida como un método de medición de alta precisión y alta sensibilidad que utiliza la longitud de onda de la luz como criterio, ampliamente utilizada en la fabricación de alta gama. El sistema de interferómetro láser SJ6000 incorpora un generador de láser de Helio-Neón de alta frecuencia de un proveedor de EE. UU., módulos de compensación ambiental de alta precisión, procesamiento avanzado de señales de interferencia láser y un sistema de control informático de alto rendimiento.
Utilizando tecnología de estabilización de frecuencia térmica con modo dual longitudinal del láser y diseño de ruta óptica de interferencia de parámetros geométricos, el SJ6000 ofrece una salida láser estable y de alta precisión (0.05ppm) a largo plazo en aproximadamente 6 minutos, con un potente rendimiento antiinterferencias. Con varios módulos de prisma, mide linealidad, ángulo, rectitud, planitud, perpendicularidad y analiza características dinámicas.
| Parámetros del Sistema | Sensores Ambientales |
|---|---|
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Método de medición: Frecuencia única Precisión de frecuencia del láser: 0.05ppm Tasa de captura dinámica: 50kHz Tiempo de calentamiento: ~6 minutos Temperatura de operación: 0-40°C Entorno: 0-40°C, 0-95% de humedad Temperatura de almacenamiento: -20°C a 70°C |
Temperatura atmosférica: ±0.1°C (0-40°C), resolución de 0.01°C Temperatura del material: ±0.1°C (0-40°C), resolución de 0.01°C Humedad atmosférica: ±5% (0-95%) Presión atmosférica: ±0.1kPa (65-115kPa) |
| Medición Lineal | Medición de Ángulo |
|---|---|
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Rango de medición: 0-80m Precisión de medición: 0.5ppm (0-40°C) Resolución: 1nm Velocidad máxima: 4m/s |
Rango axial: 0-15m Rango de medición: ±10° Precisión: ±(0.02%R+0.1+0.24M)″ Resolución: 0.1″ R = valor indicativo (″), M = longitud medida (m)
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| Medición de Planitud | |
|---|---|
| Rango axial: 0-15m | Rango de medición: ±1.5mm |
| Precisión: ±(0.2%R+0.02M²) μm | Resolución: 0.1μm |
| Tamaño del sustrato: 180mm ajustable, 360mm ajustable | |
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R = valor indicativo (μm), M = longitud medida (m)
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| Medición de Rectitud | Rectitud Corta | Rectitud Larga |
|---|---|---|
| Rango del eje | 0.1-4m | 1-20m |
| Rango de medición | ±3.0mm | ±3.0mm |
| Precisión | ±(0.5+0.25%R+0.15M²)μm | ±(5.0+2.5%R+0.015M²)μm |
| Resolución | 0.01μm | 0.01μm |
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R = valor indicativo (μm), M = longitud medida (m)
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| Medición de Perpendicularidad | Rectitud Corta | Rectitud Larga |
|---|---|---|
| Rango del eje | 0.1-3m | 1-15m |
| Rango de medición | ±3.0mm | ±3.0mm |
| Precisión | ±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m | ±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
| Resolución | 0.01μm | 0.01μm |
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R = valor indicativo (μm), M = longitud medida (m)
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