Sistema de medición de visión CNC de la serie HP para inspección de precisión a nivel de micrón de componentes de semiconductores

HP: Alta Precisión (Alta Precisión)

Las características principales de la máquina de pórtico fijo son la alta precisión y la automatización total. "HP" en este contexto se refiere a la máquina de pórtico como un "instrumento de inspección de precisión óptica automática sin contacto a nivel de micras". Ayuda a mejorar la precisión y la productividad general de la producción para los clientes.

• Se adopta toda la estructura del puente móvil de marco cerrado, la pieza de medición es fija, la capacidad de carga es grande y el rendimiento del movimiento es bueno.
• Introducir la tecnología de análisis de elementos finitos en el diseño mecánico para garantizar una estructura mecánica de alta rigidez y alta precisión.
• Base de granito grado 000, alta resistencia, resistencia a la corrosión y buena estabilidad.
• Mesa de trabajo para tratamiento de superficies de óxido de aluminio, control de acción rápido y flexible, duradera y hermosa.

• Regla de rejilla abierta RENISHAW, resolución 0,5 um, alta precisión y buena estabilidad.
• El riel guía lineal de precisión, el husillo de bolas de la amoladora y el servomotor de CA garantizan la estabilidad y precisión de posicionamiento del sistema de la máquina.
• La cámara digital Giga en color de alta definición de 2M de píxeles cumple con los requisitos de observación clara y medición estable.
• Lente óptica de alta definición de 6,5x, zoom automático preciso, calibración rápida de píxeles.
• Fuente de luz de superficie LED programable de 5 anillos y 8 zonas, sistema de fuente de luz de contorno LED de transmisión paralela, ajuste inteligente de brillo de 256 niveles.
• Control CNC de eje completo, servomotor de circuito cerrado completo de CA.

El instrumento de medición por visión tipo pórtico grande de la serie HE puede equiparse con una variedad de sensores 3D para una medición compuesta 2D/3D integral. También puede equiparse con sensores sin contacto como sonda y láser. También es compatible con la serie completa de soportes de sonda de RENSHAW, para que los usuarios puedan completar la transformación automática de mediciones a escala completa en un solo dispositivo, mejorando enormemente la productividad.